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悬浮式等离子体高纯硅冶炼炉4个问题需要解决

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研制一台用于高纯硅实验提纯冶炼的真空电磁悬浮式“无坩埚”等离子体高纯硅冶炼炉,以普通工业硅为原料利用悬浮无坩埚真空冶炼、各种不同气氛下电弧等离子体冶炼以及定向凝固分凝除杂等手段,除去工业硅中的杂质,试制出符合太阳能级高纯多晶硅材料。

本研究项目中有4个问题需要解决

(1)中频感应加热频率选定。

(2)实现硅熔体表面涡流所受安培力与硅熔体重力压强平衡使硅熔体与石英管内壁不相接触实现悬浮无坩埚冶炼,避免容器带入杂质。

(3)确定真空冶炼中不同杂质的去除速度以及去除率与真空度之间的关系,得到真空冶炼的最佳效果的条件。

(4)确定在不同工质以及不同工质比例的情况下电弧等离子体冶炼对去除B和P的效果最好。

(5)确定分凝除杂最佳温度场控制。